F05500 - SEMI F55 - マスフローコントローラの耐腐食性を求めるための試験方法 Revision:SEMI F55-0600 (Reapproved 0412) - Superseded SEMI F60 — Test Method

SEMI F60 — Test Method for ESCA Evaluation of Surface Composition of Wetted Surfaces of Passivated 316L Stainless Steel Components

SEMI E30-0307 (technical revision)

orgで入手可能となる。初版は1986年発行。前版は1997年9月発行。

本文書の目的は，高純度ガス分配システムおよび半導体製造プロセス装置に搭載するPOU精製器およびフィルタの試験方法について定義することである。この試験方法を適用することにより，搭載の検定試験時に種々のPOU精製器およびフィルタの間で比較可能なデータを得ることができる。

F05500 - SEMI F55 - マスフローコントローラの耐腐食性を求めるための試験方法 Revision:SEMI F55-0600 (Reapproved 0412) - Superseded SEMI F60 — Test MethodNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Gases Global Technical Committee20111224global Audits and Reviews Subcommittee20124www. semiviews. org www. semi. org2000620073 : MFCMFC HClHClMFCMFCMFC Referenced SEMI Standards SEMI F1 Specification for Leak Integrity of High Purity