Historical Silicon Wafer shipment (MSI) Report (1995-2020) StdPbc-1015 SEMI E22-0697 (technical revision)

SEMI E22-0697 (technical revision)

— 以下の話題は本仕様の範囲を超えるものである。その件については別の仕様で示されるかもしれないが，将来的に本仕様の追加事項とする事は想定しない。

オペレーションに対するコントロール量が増加しているため，工場のイベントおよび状態変化に対応でき，材料処理，材料搬送および装置メンテナンスに関するスケジュールを動的に調整できるアクティブなスケジューリングコンポーネントが必要とされている。スケジューリングコンポーネントは，待ち行列のサイズを最小限に抑え，かつ，WIPインベントリレベルを希望レベルに保ってボトルネックの装置を最大限効率よく使用できるようにするために，プライオリティを調節して，工場にある材料のインベントリレベルに反応することができる。

This Guide defines the methodology for calculating a set of commonly used statistical parameters and functions of surface roughness from a set of measured surface profile data

Historical Silicon Wafer shipment (MSI) Report (1995-2020) StdPbc-1015 SEMI E22-0697 (technical revision)