E19000 - SEMI E190 - Specification for Equipment Data Publication (EDP) Revision:SEMI E190-1124 - Current Detailed information on the method

Detailed information on the method is found in ASTM G48

000 defects per cm2

13 に掲載する。

本スタンダードは，GOI（Gate Oxide Integrity：ゲート酸化膜の完全性）評価をするにあたり，ウェーハ評価の固有事項・問題について記載してある。より一般的な評価法全般については，§3の参照スタンダード記載の手法に準ずる。M51でのTZDBは，偶発性破壊モード(Bモード)と摩耗破壊モード(Cモード)による不良率を評価するのに有効である。本評価法は，TZDBより高い感度で偶発性破壊モードを検出するのに有効である。

E19000 - SEMI E190 - Specification for Equipment Data Publication (EDP) Revision:SEMI E190-1124 - Current Detailed information on the methodNOTICE: By purchasing this download, you will receive the Primary Standard and the Subordinate Standard. 1 Purpose 1. 1 The purpose of this Specification is to provide a framework to equipment suppliers on how equipment data is categorized for specific component types and the minimum set of data required for that component type. 2 Scope 2. 1 This Specification defines equipment data concepts, shareable and nonshareable data concepts and category