D07300 - SEMI D73 - Test Method for Positional Accuracy of Capacitive Touchscreen Panel StdVol-Gases 本仕様は，センサ／アクチュエータネットワークに関するSEMIスタンダードの実装を規定する一連のスタンダードの一部分として規定するものである。本仕様の目的は特に，ネットワークに依存しないアプリケーションモデルを説明することであり，そのモデルは半導体製造装置のセンサ／アクチュエータ用通信ネットワーク上の真空ポンプデバイス（VPD）すべてに共通なデバイスオブジェクトで構成するものである。

本仕様は，センサ／アクチュエータネットワークに関するSEMIスタンダードの実装を規定する一連のスタンダードの一部分として規定するものである。本仕様の目的は特に，ネットワークに依存しないアプリケーションモデルを説明することであり，そのモデルは半導体製造装置のセンサ／アクチュエータ用通信ネットワーク上の真空ポンプデバイス（VPD）すべてに共通なデバイスオブジェクトで構成するものである。

異物の静電気吸引（ESA）を低減することによる汚染管理について，ある領域の静電気のリスクは静電気電荷の存在とレベルによって定義される。

This Document defines three orthogonal reference planes as references for carrier dimensions

1  The control of parameters

D07300 - SEMI D73 - Test Method for Positional Accuracy of Capacitive Touchscreen Panel StdVol-Gases 本仕様は，センサ／アクチュエータネットワークに関するSEMIスタンダードの実装を規定する一連のスタンダードの一部分として規定するものである。本仕様の目的は特に，ネットワークに依存しないアプリケーションモデルを説明することであり，そのモデルは半導体製造装置のセンサ／アクチュエータ用通信ネットワーク上の真空ポンプデバイス（VPD）すべてに共通なデバイスオブジェクトで構成するものである。This measurement standard defines test methods for the positional accuracy of touchscreen panels. To help the communication between component material IC and panel manufactures, this Standard provides a testing method that reveals the response performance of touchscreen panels. This Standard is a generic specification for positional accuracy test methods of touchscreen panel including the single point and the straight line. Based on user experiences,