P04200 - SEMI P42 - ウェーハ露光システムへの自動レシピ伝送のためのレチクルデータの仕様 StdPbc-0801 SEMI D6 — Standard Size

SEMI D6 — Standard Size and Thickness for Flat Panel Display Mask Substrates

SEMI MF84-0312 (Reapproved 1023)

mass flow controllers and meters

即時絶縁破壊特性（TZDB）は，酸化膜欠陥モード分類を行うGOI測定方法である。SEMIM60には，経時絶縁破壊特性（TDDB）によるGOI評価法の記述がある。TDDBは酸化膜の信頼性を評価するのに対して，TZDBは酸化膜欠陥のモード分類を行い，GOI評価手法として重要な方法である。

P04200 - SEMI P42 - ウェーハ露光システムへの自動レシピ伝送のためのレチクルデータの仕様 StdPbc-0801 SEMI D6 — Standard SizeNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Global Micropatterning CommitteeJapanese Micropatterning Committee2009Japanese Regional Standards Committee20042www. semi. org20043 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain