Managing Environmental Compliance During Construction StdPbc-1114 component tube stubs

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本ガイドには，半導体製造装置 (SME) またはそのコンポーネントの製品寿命が尽きた際に廃棄されることによる環境への影響を最小限にするための設計上の考慮事項が記されている。

本スタンダードは，300 mm径ウェーハキャリア（搬送用カセット，プロセスカセット，クォーツボート，ポッド，ロットボックス，シッピングボックスを含む）を人間工学的に設置し，正確に支持するのに使用される，自動位置決め機構であるキネマティックカプリングを規定する。これらのキネマティックカプリングは次のようなインタフェースにおいて使用される。

本文書内の性能および評価基準は，サプライヤがユーザに提供する装置，または他のサプライヤがユーザに提供する装置の一部として，サプライヤが提供する装置のすべてに対して適用する。

Managing Environmental Compliance During Construction StdPbc-1114 component tube stubsCourse Description This course provides an overview of the environmental regulations and compliance obligations for construction in the United States. It is designed for environmental professionals in the semiconductor industry, but has wider applicability to wider electronics and similar manufacturing sectors. Participants will become familiar with many of the codes for governing construction and site management, saving hundreds of hours in research