S00300 - SEMI S3 - 製程液體加熱系統安全基準 StdTpc-Surface Mount Gas Distribution Systems 1の300 mmロードポートに関するホスト・装置間通信を扱うスタンダードである。

1の300 mmロードポートに関するホスト・装置間通信を扱うスタンダードである。

The user should investigate metrology suppliers’ current capabilities

ナット，グリッパ等のような部分は，フロロカーボン材質で作成されなくてもよい。

This standard is intended to further specify the single substrate ID reader position by specifying more clearly the orientation of single substrate for loading/unloading indicated with a virtual datum line that is prescribed in SEMI D44 — Specification for Reference Position of Single Substrate for Handing Off On Tool

S00300 - SEMI S3 - 製程液體加熱系統安全基準 StdTpc-Surface Mount Gas Distribution Systems 1の300 mmロードポートに関するホスト・装置間通信を扱うスタンダードである。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. 1PLHSSEMI S10SEMI S14 PLHSPLHSSEMI S10SEMI S14 PLHSSEMI S10SEMI S14 Referenced SEMI Standards None.