M00600 - SEMI M6 - 太陽光電池用シリコンウェーハの仕様 Revision:SEMI M6-1108 - Superseded FPD製造で用いられる偏光板に適用するものとする。その範囲は，材料・検査・測定で使用される，偏光板関連用語である。

FPD製造で用いられる偏光板に適用するものとする。その範囲は，材料・検査・測定で使用される，偏光板関連用語である。

SEMI MF671-0312 (technical revision)

帯電したウェーハやレチクルの表面は異物を吸着（静電気吸着，またはESA： electrostatic attraction）し，不良率を増やす。また，製品に存在する電荷は，装置故障や製品自体の破壊の原因となることがある。

Optical measurement methods are widely used to evaluate flatness of substrate

M00600 - SEMI M6 - 太陽光電池用シリコンウェーハの仕様 Revision:SEMI M6-1108 - Superseded FPD製造で用いられる偏光板に適用するものとする。その範囲は，材料・検査・測定で使用される，偏光板関連用語である。global Silicon Wafer Committee2008829global Audits and Reviews Subcommittee200810www. semi. org200811CD ROM198120077 SEMI M6SEMI M6. 1SEMI M6. 2SEMI M6. 3SEMI M6. 4SEMI M6. 5 PV Referenced SEMI Standards SEMI M1 Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers SEMI M59 Terminology for Silicon Technology SEMI MF26 Test Methods for Determining the Orientation of a Semiconductive Single Crystal