F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法 StdTier-Tier1 — 以下の話題は本仕様の範囲を超えるものである。その件については別の仕様で示されるかもしれないが，将来的に本仕様の追加事項とする事は想定しない。

— 以下の話題は本仕様の範囲を超えるものである。その件については別の仕様で示されるかもしれないが，将来的に本仕様の追加事項とする事は想定しない。

包装材料や輸送材料

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The focus of this Document is on geometry-related metrology and measurands important for definition and control of fabrication and inspection operations on structures that include openings for TSV

F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法 StdTier-Tier1 — 以下の話題は本仕様の範囲を超えるものである。その件については別の仕様で示されるかもしれないが，将来的に本仕様の追加事項とする事は想定しない。Referenced SEMI Standards SEMI E49 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance Subassemblies, and Final Assemblies SEMI F1 Specification for Leak Integrity of High Purity Gas Piping Systems and Components