M05700 - SEMI M57 - シリコンアニールウェーハの仕様 StdTpc-High Purity Piping Systems 本法で定義するチューブフィッティングは，内部流体に接する部分が全てフッ素樹脂製であること。

本法で定義するチューブフィッティングは，内部流体に接する部分が全てフッ素樹脂製であること。

SEMI F49-0200 (Reapproved 1021)

It is recommended that wafers be transferred from the MAC to a 450 FOUP and 450 FOUP to MAC

and may prevent good contact for electrical test

M05700 - SEMI M57 - シリコンアニールウェーハの仕様 StdTpc-High Purity Piping Systems 本法で定義するチューブフィッティングは，内部流体に接する部分が全てフッ素樹脂製であること。global Silicon Wafer Committee201323global Audits and Reviews Subcommittee20134www. semiviews. org www. semi. org20047201110 180 nm130 nm90 nm( R1 1), 65 nm, 45 nm, 32 nm, ( R1 2), 22 nm ( R1 3) crystal originated particlesCOPdenuded zoneDZ Referenced SEMI Standards SEMI M1 Specifications for Polished Single Crystal Silicon Wafers SEMI M35 Guide for Developing Specifications for Silicon Wafer Surface Features Detected by Automated Inspection SEMI M45